武则天称帝前后，武则天对僧怀义是非常信任的，故屡次任命他为节制一方的统帅，而让众将相为其下属。怀义受此宠遇，更加得意忘形，目空一切。宰相李昭德为其行军长史时，竟因与怀义意见不合而受怀义箠挞。怀义于白马寺度力士千人为僧，侍御史周矩疑其有异谋，固请召怀义审问，怀义乘马至御史台，坦腹于床，待周矩将召吏按问，怀义便跃马而去。周矩向武则天报告事情经过，武则天虽然袒护怀义，但还是让周矩将怀义所度僧全部流放远州。天册万岁元年(695年)，天堂、明堂失火，传言是怀义放火，但武则天仍任命怀义主持重修工程。怀义更加骄横，出言不逊。武则天便密选宫女有气力者百余人以防备怀义，旋又诱杀怀义于宫中，送尸白马寺，焚以造塔。

　　平心而论，僧怀义还是有一定才干的。他组织明堂浩大工程，基本上还能做到有条不紊。故后人也只是批评他劳民伤财，而不说他瞎指挥。怀义屡次带兵打仗，虽然史书没记载他立过什么战功，但也没说他打过败仗。怀义对于武则天的称帝，也确曾有过大功。他的结局与其说是因他有异谋而犯忌或年久宠移，倒不如说是“狡兔死，走狗烹”，被武则天利用之后终遭抛弃。与怀义之死大体同时，武则天宠信的众酷吏也相继就诛，这不能说是巧合。当然，就怀义个人而言，他骄横不法，也是死有余辜。

　　武则天称帝前后，怀义属于度为僧而积极为武则天效犬马之劳的典型；与此同时，也有不与武则天合作而出家为僧者，法成就是一个典型。他原名王守慎，垂拱中为监察御史，时武则天任用酷吏，常罗织罪名，陷害无辜。王守慎舅父任秋官(亦即刑部)侍郎，奉命审案，推荐王守慎参加，王守慎不愿陷害无辜，便请求出家为僧。法成此举就颇为时贤所重。后来也得以善终。

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