清代藏传佛教继续发展。当时藏传佛教有四大宗派，在五台山发展的是达赖派和章嘉呼图克图派。从顺治十六年（1659）阿王老藏卓锡菩萨顶作为第一任大喇嘛起，到1937年最后一任止，达赖派先后有23名大喇嘛住五台山，所管寺庙有21所。章嘉呼图克图派与五台山关系密切的是二世、三世和七世章嘉呼图克图。二世阿旺罗森曲殿曾修造菩萨顶等10寺，被康熙皇帝定为黄庙；三世若必多吉在乾隆十五年到五十一年的36年间，每年夏季要到五台山闭关静坐，弘扬佛法。七世罗森班殿取消菩萨顶大喇嘛特权，抗战期间曾号召蒙古同胞和五台山僧众参军参战。从二世开始，该派在五台山管辖的寺庙有6所。

　　近现代，五台山黄教仍保持一定的规模。据1956年调查，五台山仍有黄庙25处。

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